一、设备简介：

　　1、音圈电机驱动，实现6自由度振动控制;

　　2、自主设计高精度传感器实现自动调平以及实时;

　　3、自主设计高精度传感器实现自动调平以及实动状态实时监测;

　　4、无明显共振放大现象，主动隔振起始频率低至1Hz起，10Hz时即可实现95%以上的隔振效率;

　　6、多种工作台面尺寸及安转孔可选，满足不同设备尺寸需求。

　　二、应用领域：

　　1、桌面式SEM;2、共焦显微镜;3、原子力显微镜;4、高精度工具; 5、扫描探针显微镜;6、其他光学及电子设备

　　三、性能参数：